1.无尘室：这是上海汉宇为了对空间内空气中的微粒控制所制造的封闭建筑。一般来说，无尘室也会对温湿度、气流运动形式、与震动噪音等环境因素做操控。

　　2.微粒操控：无尘室微粒操控的第一步，是把室内微粒进行分析，然后针对分析结果拟订预先设计好的的微粒操控方法与无尘室管理形式，才干有用率的操控微粒污染。在做微粒影响剖析时，期间注意数据的量化。

　　3.外来污染源：从无尘室外进入系统的污染源，外来污染源主要是由空调通风系统所导入，另外门、窗、墙壁裂缝等也是外来污染源的成因。

　　4.内部污染源：无尘室内部发生污染的来源，一般是制程机器与操作职工，严峻的内部污染源一般是操作职工。

　　5.阻隔：阻隔是污染操控的一种观念，也就是让污染源阻隔在无尘区域之外。这种观念多应用在高洁净度的无尘环境，例如Class100，Class10，Class1等高滤网覆盖率的无尘室，或是运用迷你洁净室将机台整个包住。

　　6.稀释：稀释是污染操控的另一种观念，多应用在洁净度不高的无尘室。例如在Class10000的无尘室，因为换气量不大，制程与人员发生的粒子就会在室内打转，要比较常的时刻才会排出。因而新的洁净空气只能稀释室内的微粒浓度，让室内洁净度操控在某一等级之下就能够了，部要求把人员与制程离隔。运用稀释法作为粒操控时，要特别注意本节第二条微粒影响剖析的正确性，能把握微粒的发生速率，才干有用的稀释微粒。

　　7.气流形式：指的是流场型态，气流分布，气流的流向等性质。因为微粒的移除彻底把握在气流的形式，因而愈洁净的无尘室或是无尘区域，对气流形式的掌控就愈注重。基本上要先把握气流形式，才干把握洁净度。

　　8.单一流向型气流：气流以同一个方向移动，这种无尘室称为单一流向型无尘室，曾经称为层流型无尘室，界说并无多大改动。高洁净度无尘室需求单一流向型气流。

　　9.非单一流向型气流：气流方向不受操控，就是所谓的乱流型无尘室，洁净度较低的无尘室都是用非单一流向型气流以节约本钱。

　　10.As-builtcleanroom（刚完工的无尘室）：现已完结且能够操作，一切相关支撑设备皆已完结的洁净室，但并没有设备及操作设备的人员。

　　11.At-restcleanroom（准备中的无尘室）：现已完结且能够操作，一切相关支撑设备皆已动作的无尘室，设备已加载并能够操作或已在工作，如所指定，但没有操作设备的人员。

12.Operationalcleanroom（操作中的无尘室设备）：一个已在正常工作的无尘室，一切相关支撑设备皆已动作，设备及人员皆已加载，工作情况能够呈现和到达其正常的功能。