1.乱流式(TurbulentFlow)：

　　空气由空调箱经风管与无尘车间内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由无尘车间两边隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状况。此型式适用于洁净室等级1，000-100，000级。

　　长处：结构简略、体系缔形成本低，洁净室之扩大比较简略，在某些特殊用处场所，可并用无尘作业台，进步无尘车间等级。

　　缺陷：乱流形成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若体系中止作业再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时适当长一段时间。

　　2.层流式(Laminar)：

　　层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由掩盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两边隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需求较高之环境运用，一般其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种：

　　(1)无尘车间水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙面之回风体系回风，尘土随风向排出室外，一般在下流侧污染较严峻。

　　长处：结构简略，作业后短时间内即可变成安稳。

　　缺陷：缔造费用比乱流式高，室内空间不易扩大。

　　(2)无尘车间笔直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器掩盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或作业人员所发生的尘土可快速排出室外而不会影响其它作业区域。

　　长处：办理简略，作业开端短时间内即可达安稳状况，不易为作业状况或作业人员所影响。

　　缺陷：结构费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架适当占空间，修理替换过滤器较费事。

　　3.复合式(MixedType)：

　　复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

　　(1)无尘车间洁净地道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或作业区域100%掩盖使洁净度等级进步至10级以上，可节省装置作业费用。此型式需将作业人员之作业区与产品和机器修理予以阻隔，以避免机器修理时影响了作业及品质，ULSI制程大都选用此种型式。洁净地道另有二项长处：A.弹性扩大简略；B.修理设备时可在修理区容易执行。

　　(2)无尘车间洁净管道(CleanTube)：将产品流程通过的自动出产线围住并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境彼此阻隔，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化出产线为最适合运用。药品、食物业界及半导体业界均适用。

　　(3)无尘车间并装局部洁净室(CleanSpot)：将洁净室等级10，000~100，000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级进步为10~1000级以上，认为出产之用；即属此类。

　　洁净作业台：等级Class1~100级。

　　洁净作业棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之通明塑料布围成一小空间，选用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高档之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，掩盖面积约10M2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。