在规定的空间范围内,将空气中的不需要的颗粒物进行阻拦,并且可以控制室内的温湿度、压力、风速、噪音控制在规定内的一种施工工程。需要净化工程所规划的房间,不管外在空气条件怎么改变,室内均具有保持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等功能。
上海汉宇净化科技有限公司在净化工程项目的建设中为您量身制定适宜的计划,适宜的计划、认真的技能、正规的材料和真挚的效劳,给您带来牢靠的、性价比较优的净化工程和净化产品。为此,汉宇净化工程公司继续改善,精雕细镂。
1、净化工程的体现:
操控产品(如硅芯片等)所触摸之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个杰出之环境空间中出产、制作。此空间的规划施工过程即可称为净化工程。
2、净化工程分类:
乱流式(TurbulentFlow)
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两边隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状况。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
长处:结构简略、体系建形成本低,洁净室的扩大比较简略,在某些用途场所,可并用无尘作业台,进步洁净室等级。
缺陷:乱流形成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。别的若体系中止作业,欲达需求之洁净度,往往须耗时适当长一段时间。
层流式(Laminar)
层流式空气气流运动成一均匀之直线型,空气由掩盖率过滤器进入室内,并由高架地板或两边隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境运用,一般其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种:
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(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙面之回风体系回风,尘土随风向排出室外,一般在下侧污染较严峻。
长处:结构简略,作业后短时间内可变成安稳。
缺陷:工程费用比乱流式高,室内空间不易扩大。
(2)笔直层流式:房间天花板以ULPA过滤器掩盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或作业人员所发生的尘土可快速排出室外而不会影响其它作业区域。
长处:办理简略,作业开端短时间内可达安稳状况,不易为作业状况或作业人员所影响。
缺陷:结构费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架适当占空间,修理替换过滤器较费事。
复合式(MixedType):
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供部分超洁净之空气。
(1)洁净地道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或作业区域掩盖使洁净度等级进步至10级以上,可节约装置作业费用。此型式需将作业人员之作业区与产品和机器修理予以阻隔,以避免机器修理时影响作业及质量。ULSI制程大都采用此种型式。
洁净地道另有二项长处:A.弹性扩大简略;B.修理设备时可在修理区容易履行。
(2)洁净管道(CleanTube):将产品流程通过的自动出产线围住并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境彼此阻隔,少数之送风可得到之洁净度,可节约能源,不需人工的自动化出产线为较适宜运用。药品、食物业界及半导体业界均适用。
(3)并装部分洁净室(CleanSpot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级进步为10~1000级以上,认为出产之用;洁净作业台、洁净作业棚、洁净风柜即属此类。
部分洁净工程
洁净作业台:等级Class1~100级。洁净作业棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之通明塑料布围成一小空间,采用之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,掩盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
3、空气洁净度等级标准及标准
经济和科技兴旺的国家和地区都有自己的空气洁净标准和标准标准,都规则了有关的洁净度等级,例如美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年公布《洁净厂房规划标准》(GBJ73-84),1996年该标准进行了较大的修正,1990年公布《洁净室施工及检验标准》(JGJ71-90)以辅导施工和检验的重要文件。现在,该标准在从头修订中。
4、净化工程的职业使用
净化工程是一个使用职业的基础性配套工业,现在在电子信息、半导体、光电子、精细制作、医药卫生、生物工程、航天航空、轿车喷涂等很多职业均有使用,并依据职业的精细与无尘要求,等级不同也较大。现在等级较高的当属航天航空的航空仓,基本是归于1级,归于特殊范畴,面积相对较小。
别的对等级要求较高的是生化实验室和高精纳米材料出产车间,物联网芯片的开展将是未来需求的一大方向。
跟着电子元器件向细小化方向开展,液晶面板现已晋级至第八代,净化工程行业的发展也会越来越成熟。