无尘室工程标准就是净化设备标准，洁净室使用的高效空气过滤器过滤气体，对于通过过滤器过滤后的空气都是非常干净的。洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发作的尘土一旦扩散，即无法坚持净化空间，所以需要使用气流将发挥的尘土排除室外。

洁净室(CleanRoom)，亦称为无尘室或净化室。

无尘室是指将在规定的范围内对空气中含有的物质进行控制，对于温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度、噪音、照明灯都控制在一定的范围内，亦便是不管外在之空气条件怎么改变，其室内均能俱有坚持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等功能之特性。世界各国都有各自的规定，但大都采用的是美国的相关标准。或者和各国制定的标准进行对比使用。

无尘室控管之项目是可以除掉空气中飘游的微尘粒子。防止灰尘的挥发和对温度和湿度的操控，压力调整，有害气体的清除，隔间的气密性等在施工时都要考虑到。

1.乱流式(TurbulentFlow)：

空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两边隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状况。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。

长处：结构简略、体系缔造本钱，洁净室之扩大比较简略，在某些特殊用处场所，可并用无尘作业台，进步洁净室等级。

缺陷：乱流形成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。别的若体系中止作业再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时恰当长一段时刻。

2.层流式(Laminar)：

层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由掩盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两边隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境运用，一般其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种：

(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙面之回风体系回风，尘土随风向排出室外，一般在下流侧污染较严峻。

长处：结构简略，作业后短时刻内即可变成安稳。

缺陷：缔造费用比乱流式高，室内空间不易扩大。

(2)笔直层流式：房间天花板彻底以ULPA过滤器掩盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或作业人员所发作的尘土可快速排出室外而不会影响其它作业区域。

长处：办理简略，作业开端短时刻内即可达安稳状况，不易为作业状况或作业人员所影响。

缺陷：结构费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架恰当占空间，修理更换过滤器较费事。

3.复合式(MixedType)：

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供部分超洁净之空气。

(1)洁净地道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或作业区域100%掩盖使洁净度等级进步至10级以上，可节约装置作业费用。

此型式需将作业人员之作业区与产品和机器修理予以阻隔，以防止机器修理时影响了作业及质量，ULSI制程大都选用此种型式。

洁净地道另有二项长处：A.弹性扩大简略；B.修理设备时可在修理区轻易履行。

(2)洁净管道(CleanTube)：将产品流程通过的自动出产线围住并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互阻隔，少数之送风即可得到杰出之洁净度，可节约能源，不需人工的自动化出产线为较适合运用。药品、食物业界及半导体业界均适用。

(3)并装部分洁净室(CleanSpot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级进步为10~1000级以上，以为出产之用；洁净作业台、洁净作业棚、洁净风柜即属此类。

洁净作业台：等级Class1~100级。

无尘作业棚：为在乱流式之净化室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，选用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高档之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，掩盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。

    无尘室工程回风标准具体程度会根据不同的工程和不同的产品会做出不同的选择，所以在施工时要多加注意，选择适合自己的方式，科学的施工，争取做出好的成绩。